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三豐高精度光柵式測微儀542-716DC低測力型

型號:LGH-1010C-B-EH

更新時間:2024-06-21

簡要描述:

三豐高精度光柵式測微儀542-716DC低測力型 在10mm的寬范圍內(nèi)實現(xiàn)0.005um或0.01um的高分辨率和高精度,可與激光干涉儀相媲美。緊湊的機身可以大地促進(jìn)設(shè)備本身的小型化,不僅是測量高精度零件和高精度定位和控制設(shè)備的長度測量傳感器的理想選擇,也適于用作測量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)。

另有低測力規(guī)格產(chǎn)品:根據(jù)用途可以選擇低測力規(guī)格產(chǎn)品,可以測量容易變形的工件及高性能膠片等。

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三豐高精度光柵式測微儀542-716DC低測力型




542系列

高精度光柵式測微儀

LGH(0.01um分辨力、0.005um分辨力)

在10mm的寬范圍內(nèi)實現(xiàn)0.005um或0.01um的高分辨率和高精度,可與激光干涉儀相媲美。緊湊的機身可以大地促進(jìn)設(shè)備本身的小型化,不僅是測量高精度零件和高精度定位和控制設(shè)備的長度測量傳感器的理想選擇,也適于用作測量設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)。

另有低測力規(guī)格產(chǎn)品:根據(jù)用途可以選擇低測力規(guī)格產(chǎn)品,可以測量容易變形的工件及高性能膠片等。

LGH系列是帶有專用計數(shù)器的套裝規(guī)格。

配備新采用的光電式反射型線直線柵尺,以低廉的價格實現(xiàn)了0.01um的高分辨率、示值差0.2um和10mm的寬測量范圍。

響應(yīng)速度提高到以往產(chǎn)品的2.8倍(250mm/s=700mm/s),兼顧高精度和高速性。


規(guī)格



類型

分辨力0.01μm、示值差0.2 μm型

貨號

542-715DC(標(biāo)準(zhǔn)型)

542-716DC(低測力型)

型號

LGH-1010-B-EH

LGH-1010C-B-EH

測量范圍

10 mm0.01 um(0.05 um、0.1 um.0.5 um.1 um用計數(shù)器可切換)

分辨力

示值誤差(20*C)*1

0.2 um

重復(fù)性(20*C)*1

回程誤差(20*C)*1

0.1 um0.65 NL以下

測桿朝下測力 測桿水平

0.55 N以下0.45 NL下

不可使用不可使用

檢出方式

光電式反射型直線柵尺常規(guī)測量時:700mm/sec 峰值檢測時:120mm/sec

可檢測動作速度

測微頭質(zhì)量

約370g硬質(zhì)合金Sa3 mm(M2.5(P=0.45)×5mm)標(biāo)準(zhǔn)測頭No.901312

測頭

裝夾套筒直徑

a15 mm

軸承類型

輸出電纜

約2mOC~40*C(基準(zhǔn)溫度20*C/20~80%RH(無凝結(jié))

使用溫度范圍

儲存溫度范圍

-10*C~60*C/20~80%RH(無凝結(jié))

計數(shù)器規(guī)格

顯示范圍

±999.99999mm置零、預(yù)設(shè)、方向切換、公差判斷(3段/5段)、RS-LINK

功能

峰值保持功能


接口

RS-232C、USB(SENSORPAK專用)、Digimatic輸出(打印機:DP-1VA LOGGER專用)*3、VO連接器RS-232C:計數(shù)數(shù)據(jù)、Digimatic?出:計數(shù)數(shù)據(jù)*3

外部輸出

外部控制

置零、預(yù)設(shè)、數(shù)據(jù)保持、峰值測量模式切換、峰值清除附帶AC適配器,或DC+12~24V,MAX700mA

電源

功耗

8.4WMAX700mA)對于市售電源,確保每個裝置供電1A以上。約900g(不包含AC適配器等)

計數(shù)器質(zhì)量

標(biāo)準(zhǔn)附件

報手(用于更換測頭)、橡膠腳墊、支架、墊圈(用于計數(shù)器)、AC適配器、交流電源線、DC插頭、使用說明書、檢查證書



三豐高精度光柵式測微儀542-716DC低測力型






 


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